|
เมนูหลัก
|
|
| ฟส335 | เทคโนโลยีฟิล์มบาง |
| Thin Film Technology |
| สังกัด | วิทยาศาสตร์, ฟิสิกส์ประยุกต์ |
| หน่วยกิต | 3 (2-3-5) |
| สถานะรายวิชา: | ใช้งาน | | เลือก ปีการศึกษา: 2 / 2562 | | รายชื่อ |  |
|
| | | เชียงใหม่ | | ปริญญาตรี ปกติ | | กลุ่ม | วัน | เวลา | ห้อง | อาคาร | เรียน | ที่นั่ง(เปิด-ลง-เหลือ) | หมวด | | | | 01 | | อังคาร | 11:00-13:00 | วิทย์ 2203 | 105 | C | 20 | 9 | 11 | W |  | | | | | ศุกร์ | 10:00-13:00 | Lวิทย์ 2202/3 | 105 | L | | | | | | | | | | อาจารย์ / เจ้าหน้าที่/เอกสารประกอบการสอน: | รองศาสตราจารย์ ดร.ชูพงษ์ ภาคภูมิ | | | | ผู้คุมสอบกลางภาค: | | | | | สอบปลายภาค: | | | | | ผู้คุมสอบปลายภาค: | | |
|
| Course Description
การประยุกต์ใช้งานและขั้นตอนกระบวนการผลิตของเทคโนโลยีฟิล์มบาง จลนศาสตร์ของแก๊ส เทคโนโลยีสุญญากาศ เทคนิคการระเหย เทคนิคการตกสะสม เทคนิคปลูกผลึกบนวัสดุผลึก การตกสะสมไอเชิงเคมี เทคนิคการใช้ลำของอนุภาคที่มีพลังงาน
พลาสมาเรืองแสง การวิเคราะห์ฟิล์ม
Applications and process steps of Thin-Film Technology, Gas Kinetics, Vacuum Technology, Evaporation technique, Deposition technique, Epitaxy technique, Chemical Vapor Deposition, Energy Beams technique,
Glow-Discharge Plasmas, Film Analysis
หมายเหตุ
เรียน C = Lecture L = Lab R = ประชุม S = Self Study T = ติว
หมวด B = วิชาเสริมพื้นฐาน E = วิชาเลือกเฉพาะสาขา F = วิชาเลือกเสรี M = วิชาพื้นฐาน W = วิชาบังคับ X = - ยังไม่กำหนด |
| |
ภาษาไทย 
English
